תעשיית המוליכים למחצה היא אבן הפינה של טכנולוגיית המידע המודרנית; התחכום הטכנולוגי והיקף הפיתוח שלה משמשים כאינדיקטורים מרכזיים ליכולות החדשנות המדעיות של מדינה ולחוזקה הלאומית המקיפה.
כאשר הביצועים של- ו-חומרי מוליכים למחצה מהדור הראשון-כגון סיליקון וגרמניום-מתקרבים לגבולות תיאורטיים, הם נאבקים לעמוד בדרישות בסביבות הפעלה קיצוניות המאופיינות בטמפרטורות גבוהות, תדרים גבוהים, רמות הספק גבוהות וחשיפה לקרינה. כתוצאה מכך, חומרים מוליכים למחצה חדשים-בעיקר סיליקון קרביד ויהלום-זכו לתשומת לב נרחבת בשל תכונותיהם החשמליות יוצאות הדופן.
מצעי מוליכים למחצה משמשים כבסיס לייצור התקנים מיקרואלקטרוניים ואופטואלקטרוניים בעלי ביצועים גבוהים-. איכות אזורי השטח והתת-קרקע שלהם משפיעה באופן קריטי על ביצועי המכשיר; השגת תוצאות מעולות דורשת שמירה על דיוק-טפסים גבוה של פני השטח ועל חספוס תת--ננומטרי של פני השטח ובו זמנית הימנעות מנזק פני השטח והתת-קרקע.
עיבוד מצע מוליכים למחצה כולל בעיקר חיתוך, חיתוך וליטוש, בעוד שעיבוד פרוסות מוליכים למחצה מתמקד בעיקר בשחזה (לדילול) ובחיתוך לקוביות.
הספר *עקרונות וטכנולוגיות מפתח של עיבוד שוחק עבור מצעי מוליכים למחצה אולטרה-קשים* מציג את הטכנולוגיה של עיבוד שוחק- קבוע. על ידי קיבוע גרגירים שוחקים על מצע כלי, שיטה זו מאפשרת שליטה מדויקת על ממשק העיבוד, ובכך משפרת את יעילות העיבוד ומשפרת את איכות פני השטח.
על ידי וויסות מדויק של הגרגירים השוחקים על שכבת פני הכלי-במיוחד על ידי שליטה בעומק החיתוך כדי ליישר קו עם החלון הקריטי של המעבר השביר-ל-המעבר השביר בחומרים מוליכים למחצה ניתן להשיג משטחי מצע באיכות-גבוהה-. הפיתוח של כלי עיבוד שוחקים- קבועים מייצג פריצת דרך בעקרונות, בשיטות ובטכנולוגיות לעיבוד מצעים של מוליכים למחצה קשים במיוחד; יתר על כן, הוא ממלא תפקיד מרכזי בביסוס ובחידוד המסגרת התיאורטית והפרקטיקות הטכניות לעיבוד-יעל-גבוה ואיכותי של מצעים אלו. לחץ על התמונה לרכישה
מבוא לספר
*עקרונות וטכנולוגיות מפתח של עיבוד שוחק עבור מצעי מוליכים למחצה אולטרה-קשים* מסכמים באופן שיטתי את הישגי המחקר של המחברים והצוות שלהם בעשור האחרון בנוגע לעקרונות וטכנולוגיות המפתח של עיבוד שוחק עבור מצעים של מוליכים למחצה קשים במיוחד. הספר מתאר את הסוגים, המאפיינים, היישומים ואפשרויות הפיתוח של חומרי המצע הללו ומספק -הסבר מעמיק על טכנולוגיות העיבוד-כולל זרימות עבודה של תהליך, מאפיינים מכניים, מנגנוני הסרת חומרים וטכניקות עיבוד נפוצות. הוא מתמקד בעקרונות של עיבוד שוחק ובייצור ויישום של כלים שוחקים, מכסה טכנולוגיות חיתוך, שחיקה, ליטוש וחתך לקוביות, כמו גם טכניקות מדידה ואפיון לא-הרסניות. בנוסף, הוא מציע השקפה על מגמות הפיתוח העתידיות של טכנולוגיות עיבוד אלו. הטכנולוגיות החדשות המוצגות בספר הן ברות ביצוע והוכיחו תוצאות מעשיות מצוינות.
*עקרונות וטכנולוגיות מפתח של עיבוד שוחק עבור מצעי מוליכים למחצה אולטרה-קשים* הם מאוד ממוקדים, פרקטיים ומלמדים. הוא משמש עזר רב ערך לאנשי מקצוע מהנדסים וטכניים בתחומים כמו הנדסת מכונות, ייצור חכם ומעגלים משולבים, ויכול לשמש גם כספר לימוד או ספר עזר לסטודנטים לתואר ראשון ושני המתמחים בהנדסת מכונות, ייצור חכם, מדע וטכנולוגיה של מכשירים ומעגלים משולבים.
